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一种带盲孔的光学玻璃内部清洗方法和清洗设备.pdfVIP

一种带盲孔的光学玻璃内部清洗方法和清洗设备.pdf

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    本发明提供了一种带盲孔的光学玻璃内部清洗方法和清洗设备，属于检测设备用光学器件的精密清洗领域，清洗方法包括半干式擦洗、干式擦拭和吹扫或吸尘清洁；清洁设备包括搬运模组、供料模组、收料模组、清洁剂喷洒模组、下清洗头模组和吸/吹清洁模组。本申请的方案克服了半干式擦拭清洁，酒精残留析出污染的问题以及干式擦拭清洁对于脏污清洁效果差的问题，最后使用洁净去静电气体吹扫或吸尘，去除干擦后表面脏污残留的问题，便于在3C、半导体等高精清洁领域推广应用。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117505449A

    (43)申请公布日2024.02.06

    (21)申请号202311800803.0B08B5/04(2006.01)

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