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本发明属于光罩拆卸技术领域，具体为一种封闭式光罩拆卸设备，包括移动锁止底板，移动锁止底板上固定安装有一个定位侧板，定位侧板的顶部固定安装有开盒定位板，移动锁止底板和开盒定位板安装有防尘外罩体，开盒定位板的下方在定位侧板上固定安装有检测定位板，检测定位板和移动锁止底板之间安装有检测移动机构，开盒定位板上安装有开盒机构，开盒定位板上开设有定位开口，检测移动机构上活动安装光罩运输盒，本发明通过开盒机构、检测移动机构和防尘外罩体的配合完成光罩的拆卸、检测和取出动作，并且整体动作流程保证光罩始终处于封闭洁
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117518740A
(43)申请公布日2024.02.06
(21)申请号202311622413.9
(22)申请日2023.11.30
(71)申请人沈阳超夷微电子设备有限公司
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