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本实用新型公开了一种基板高度调节机构，包括旋转台面，支撑限位部配置在旋转台面上；顶升部配置在支撑限位部的下方，用于通过驱动支撑限位部后将基板顶升的同时露出基板的任意侧面；保护板配置在旋转台面的上，保护板内上开有限位槽；其中，当所述顶升部不顶升时，基板在支撑限位部的支撑下露出上表面，基板的侧面设于限位槽内；当顶升部顶升时，基板在支撑限位部的支撑下露出基板的任意侧面，基板的侧面高于限位槽；本实用新型通过支撑限位部和顶升部将基板分为初始状态和顶升状态，分别用于基板的正反面清洗和侧面清洗，从而在保护板的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220456390U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202321644887.9
(22)申请日2023.06.27
(73)专利权人若名芯装备（苏州）有限公司
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