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本实用新型公开了一种研磨头，包含：横向模组、纵向模组、第一研磨模组和第二研磨模组。其中，第一研磨模组分别与纵向模组、第二研磨模组相连，用于研磨工件的内壁；纵向模组可驱动第一研磨模组纵向往复运动；横向模组和纵向模组相连，驱动纵向模组横向往复运动；第二研磨模组用于研磨工件的内端面。本实用新型还公开了一种超精研磨机，包含前一实施例的研磨头。本实用新型将内壁研磨头、内端面研磨头集成在一起，可实现对工件的内壁、内端面进行研磨，整体占用体积小；省去了工件流转时间，提高了生产效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220446153U
(45)授权公告日2024.02.06
(21)申请号202321982866.8
(22)申请日2023.07.26
(73)专利权人驭准精密机械（上海）有限公司
地
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