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本发明公开了一种真空镀膜机的真空腔室表面处理加工工艺，包括依次进行的如下工艺步骤：抛光处理或喷砂处理、水洗、硝酸酸洗、水洗擦净、超净间超纯水冲洗及超净间高纯氮吹干；在所述抛光处理工序中，对真空腔室的密封面与真空腔室的其他内壁采用不同电解抛光液的顺次抛光处理方式；或对真空腔室的密封面采用抛光处理，对真空腔室的其他内壁采用喷砂处理；真空腔室的密封面上固定设置低出气率的钛材料层。本发明对采用低出气率的钛材料的真空腔室密封面采取与腔室其他部位不同的表面处理方式，更有针对性，也减少表面处理加工的成本，本发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115476278A
(43)申请公布日2022.12.16
(21)申请号202211112946.8
(22)申请日2022.09.14
(71)申请人江阴慕达斯真空设备有限公司
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