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本实用新型公开的一种全自动尺寸检测设备，包括平台以及设置在平台上的顶部导向组件与底部导向组件；顶部导向组件上配合连接有顶部检测组件，顶部检测组件能够沿顶部导向组件水平滑动；平台顶部位于顶部导向组件的一侧设置有支撑框架，支撑框架顶部设置有产品治具组件，支撑框架顶部设置有治具滑轨，产品治具组件能够沿治具滑轨滑动，产品治具组件上设置有晶圆；顶部检测组件对晶圆的顶部进行拍照检测；底部导向组件设置在顶部导向组件的下方，底部导向组件上设置有底部检测组件，底部检测组件用于对晶圆的底部进行拍照检测。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220472560U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202321791355.8
(22)申请日2023.07.10
(73)专利权人苏州威达智科技股份有限公司
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