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一种可集成式玻璃基高效微流道热沉.pdfVIP

一种可集成式玻璃基高效微流道热沉.pdf

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    本发明属于大功率集成电子散热技术领域，特别涉及一种可集成式玻璃基高效微流道热沉。本发明的热沉包括通过键合构成的上平板玻璃和下平板玻璃；上平板玻璃的中间区域刻蚀有的TGV通孔，两端刻蚀有液态散热工质的入口通孔和出口通孔，TGV通孔内填充高导热材料；上平板玻璃的下表面制作高导热金属层，上平板玻璃下表面的高导热金属层与TGV通孔内填充的高导热材料形成良好热接触；下平板玻璃从上表面往下刻蚀有盲槽，盲槽包括中间微流道和两端的散热工质入口和散热工质出口；下平板玻璃上表面和盲槽内部表面制作高导热金属层，盲槽内

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117542804A

    (43)申请公布日2024.02.09

    (21)申请号202311526743.8

    (22)申请日2023.11.15

    (71)申请人中国电子科技集团公司第十研究所

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