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本发明公开了一种全自动探针台晶圆测试系统，包括探针台测试模块、机械手模块和人机交互模块，探针台测试模块包括测试机台、晶圆卡盘模块、若干测试探针装置、数字化显微镜模块和屏蔽罩组件，机械手模块包括机柜、晶圆盒装载台、机械手装置和晶圆校准器，人机交互模块包括显示器模块和操控模块。本发明通过在探针台测试模块中集成机械手模块和人机交互模块，通过机械手模块自动测距搬运晶圆和预校准后、搬运至探针台测试模块中进行扎针测试工作，实现晶圆测试的全自动化，大大提高了晶圆的测试效率。并且，通过人机交互模块，将测试软件、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117538729A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311483304.3G01R1/073(2006.01)
(22)申请日2023.11.
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