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本发明公开了一种刻蚀液供应过程中的控氧装置和方法，控氧装置包括通气模块，通气模块的第一端浸没于供液槽内的刻蚀液中，第二端连接气源，供液槽连接刻蚀液供应管路的一端，刻蚀液供应管路的另一端连接湿法刻蚀腔；通气模块的第一端上设有鼓气单元，鼓气单元上分布有多个出气孔；通过气源向通气模块中通入含氧气体，并由各出气孔鼓出，以通过增大供液槽内刻蚀液与含氧气体的接触面积，提高刻蚀液供应前的溶氧能力；还可通过合理设置刻蚀液的排放时间与回收时间比例，使氧浓度保持在相对稳定的状态，以及通过对回收的刻蚀液进行脱氧处理和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117542763A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311775201.4
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人上海集成电路装备材料产业创新中
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