转移气体的方法和设备.pdfVIP

转移气体的方法和设备.pdf

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一种用于转移气体的方法和设备。该方法包括膨胀具有第一温度的工艺气体101，以产生具有大于第一温度的第二温度的第一体积的工艺气体，以及具有小于第一温度的第三温度的第二体积的工艺气体。该方法还包括使用活塞气体将第二体积的工艺气体102中的至少一些移位到接收容器中，其中活塞气体与工艺气体是相同类型的。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117545953A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202280042027.X(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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