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提供一种微桥结构及其制备方法，微桥结构用作非制冷红外焦平面探测器的像元，微桥结构包括衬底、桥墩、桥臂、热敏感桥面，衬底包含读出电路，微桥结构还包括吸气剂支撑锚柱，吸气剂支撑锚柱的材质为非蒸散型吸气剂；吸气剂支撑锚柱一体地设置在衬底上方且直接位于热敏感桥面下方，吸气剂支撑锚柱用于从下方为热敏感桥面提供支撑并发挥吸气剂的功能。所述微桥结构的制备方法用于制备前述的微桥结构，所述微桥结构的制备方法通过沉积、刻蚀在衬底上制备桥墩、桥臂、热敏感桥面、吸气剂支撑锚柱、通过在衬底与桥墩、桥臂、热敏感桥面之间沉积
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117534028A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311605700.9
(22)申请日2023.11.24
(71)申请人安徽光智科技有限
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