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本发明涉及用于校正带电粒子显微镜系统中的粒子光学透镜的球面像差的紧凑型校正器，根据本公开，强六极被配置成当向其施加电压时产生强六极场，并且弱六极被定位在该强六极与样品之间。该强六极被定位成使得带电粒子系统的带电粒子束的交叉点不穿过该强六极的中心，使得该强六极场将至少A2像差和D4像差施加到该带电粒子束。该弱六极被进一步定位或以其他方式配置成使得当电压施加到该弱六极上时，其产生弱六极场，该弱六极场将至少组合A2像差和组合D4像差施加到该带电粒子显微镜系统的该带电粒子束。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117542712A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202310994574.4H01J37/28(2006.01)
(22)申请日2023.08.
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