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一种微型气体传输装置，包含：一微型气体泵，传输一气体；一微型阀门，供微型气体泵设置，微型阀门依序叠设一微型集气板、一微型阀片膜及一微型出气板；微型集气板，于四个角落处设有第一半蚀刻凹槽；微型阀片膜，延微型阀片膜的四边形成一隔离缝隙，使微型阀片膜形成一阀片膜外框与一阀片膜作动区；微型出气板，供微型阀片膜布置并于四个角落处设有第二半蚀刻凹槽。其中，微型集气板及微型出气板的第一半蚀刻凹槽、第二半蚀刻凹槽与微型阀片膜的隔离缝隙之间产生交集并形成一圈隔离结构，借由隔离结构使阀片膜外框与阀片膜作动区之间形成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115199517A
(43)申请公布日2022.10.18
(21)申请号202210256781.5F04B39/10(2006.01)
(22)申请日2022.03.
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