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成膜装置以及成膜装置的清洁方法.pdfVIP

成膜装置以及成膜装置的清洁方法.pdf

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    成膜装置具备：处理容器；溅射用的靶材，其设置于所述处理容器内；载置台，其位于所述处理容器内且具有用于载置基板的载置面；遮挡构件，其能够覆盖所述载置面；搬送机构，其相对于所述载置台搬入和搬出所述遮挡构件；检测部，其设置于所述搬送机构自身，用于检测与有无所述遮挡构件有关的指标；以及处理部，其基于所述检测部的检测结果来判定在所述搬送机构有无所述遮挡构件。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117545871A

    (43)申请公布日2024.02.09

    (21)申请号202280044357.2(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事

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