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本发明公开了一种多晶硅生产方法,包括如下步骤:在化学气相沉积反应器的高温环境,通过原料氯代硅烷与氢气发生热分解反应,生成多晶硅,反应产生的尾气经尾气回收系统处理,将分离的氯化氢和氢气混合气体直接返回至化学气相沉积反应器继续参与反应。采用本发明技术方案,回收的氯化氢和氢气混合气体不再进行分离,而直接作为原料参与沉积反应,极大地节约了成本。同时,氯化氢能够抑制反应器内的硅粉产生,消除雾化现象,逐而减少反应器内壁的硅沉积,减少产品的氯含量,提高了产品纯度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109467089A
(43)申请公布日
2019.03.15
(21)申请号20171
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