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本发明涉及一种改良西门子法生产多晶硅工艺中氢气提纯装置，包括：前置冷凝单元，与改良西门子法生产多晶硅工艺的尾气连通，所述尾气经过前置冷凝单元处理后得到第一处理气体；压缩单元，与所述前置冷凝单元连通，第一处理气体经压缩单元压缩后得到第二处理气体，所述第二处理气体的压力为1.2～1.5MPa；后置冷凝单元，与所述压缩单元连通，所述第二处理气体经后置冷凝单元进行逐级冷却后得到第三处理流体，所述第三处理流体的温度不高于‑70℃；吸收解析单元，与所述后置冷凝单元连通，第三处理流体经吸收解析单元处理至少能够
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117531327A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311492193.2B01D53/14(2006.01)
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