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本发明提供了一种验证探针异常和接触异常的装置和方法以及晶圆测试方法，装置包括：第一pad区和第二pad区，第一pad区和第二pad区均包含多个pad，第一pad区的pad之间连通，第二pad区的pad之间断开设置，第一pad区的pad和第二pad区的pad之间断开；以及，相同阻值的第一电阻和第二电阻，第一pad区内的相邻两个pad通过第一电阻连通，并且相邻两个pad的其中一个pad和第二电阻相连，第一pad区的其余pad和第二电阻相连。首先去测试探针与pad之间的接触是否良好，再检测探针是否短路
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN113671339A
(43)申请公布日2021.11.19
(21)申请号202111109029.X
(22)申请日2021.09.22
(71)申请人广州粤芯半导体技术有限公司
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