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2024-02-10 发布于四川
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本实用新型涉及一种晶圆检测设备的激光安全防护系统，包括激光照明模块、激光收集筒、物镜、筒镜、暗场滤光片、第一相机；物镜、筒镜、第一相机在竖直方向上依次同轴心设置，筒镜与第一相机固定连接，物镜与筒镜固定连接；暗场滤光片固定在筒镜内。本实用新型利用暗场自身的特点，能够捕获极小的颗粒缺陷，从而提高颗粒缺陷的捕获能力，提高缺陷检测精度，增加产能；通过激光收集筒防止激光返回反射，或者发射到其他空间中，消光性能好，避免激光危害人身安全；采用激光暗场荧光激发，能够有效的避免高反射表面将激光沿原来的光路返回导致

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220473770U

(45)授权公告日2024.02.09

(21)申请号202321904058.XG01N21/95(2006.01)

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