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本实用新型涉及镀覆装置技术领域，特别涉及一种热丝装置以及化学气相沉积设备。该热丝装置包括框架、多个支座、多个滑块和热丝；所述框架与多个所述支座连接，多个所述支座呈阵列布置，任一所述支座与至少一个所述滑块可滑动连接；所述热丝与所述滑块固定连接，所述滑块相对所述支座的可滑动方向和与该所述滑块连接的所述热丝的设置方向平行。在热丝发生热应力形变时，热丝可通过滑块移动，实现了高温环境下热丝的热应力的释放，有效避免热丝因热应力形变发生断裂；而且，热丝为安装在框架上，热丝装置作为一个整体安装到化学气相沉积设备
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220468133U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202321925857.5
(22)申请日2023.07.20
(73)专利权人隆基绿能科技股份有限公司
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