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一种精密移动且侧面引线的介入式诊断装置.pdfVIP

一种精密移动且侧面引线的介入式诊断装置.pdf

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    本发明公开了一种精密移动且侧面引线的介入式诊断装置，包括升降电机、拉线电机、侧面引线法兰以及矩形真空仓，矩形真空仓内部包含螺杆、三槽孔内螺纹管、转接件和探针头；可选择多种介入式探针头进行等离子体参数诊断，并且通过升降电机可以实现等离子体内部和边界的径向参数扫描，通过拉线电机则可以实现信号导线的侧面引入和引出；通过上位机软件能够可视化交互式控制该装置的运行以及随时终止运行；可视化控制的侧面引线方式填补了一项技术空白，整个装置由无磁材料构成，内部多处通气孔有利于快速获得真空环境。本发明安全可靠、易拆

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN107680897A

    (43)申请公布日

    2018.02.09

    (21)申请号20171

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