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本发明公开了一种团簇束流传输装置及团簇催化剂制备设备，其中团簇束流传输装置包括透镜组及线性八极杆，透镜组包括若干个沿第一方向布置的第一透镜，第一透镜的中心轴沿第一方向延伸，第一透镜具有沿第一方向贯穿的第一通过腔，第一通过腔用于供团簇束流通过，第一透镜用于对团簇束流进行聚焦；线性八极杆位于透镜组在第一方向上的一端，线性八极杆的中心轴与第一透镜的中心轴重合，线性八极杆用于接收并传输经过聚焦的团簇束流。团簇束流在一部分的传输路径上通过透镜组来传输，在其余部分的传输路径上通过传输效率更高、团簇束流损耗更
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117535637A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311345980.4
(22)申请日2023.10.17
(71)申请人南方科技大学
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