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一种像元级多通道法珀滤光片中光谱通道的制备方法.pdfVIP

一种像元级多通道法珀滤光片中光谱通道的制备方法.pdf

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    本申请涉及光学薄膜技术的领域，尤其涉及一种像元级多通道法珀滤光片中光谱通道的制备方法，光谱通道的制备方法包括：利用薄膜制备技术在基底上镀制由高、低折射率薄膜交替组成反射板一；在反射板一上旋涂负性光刻胶形成样品一，负性光刻胶形成中间腔层；将样品一放在热板上进行烘烤后形成样品二，采用激光直写的方法对样品二进行台阶式曝光形成样品三；样品三放在热板上进行烘烤后形成样品四；样品四放入显影液中进行光刻胶显影形成样品五；样品五的中间腔层上镀制与反射板一完全对称的由高、低折射率薄膜交替组成的反射板二。本申请具有

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117538973A

    (43)申请公布日2024.02.09

    (21)申请号202311403924.1

    (22)申请日2023.10.26

    (71)申请人无锡谱视界科技有限公司

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