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本发明公开了一种波导光栅及其制备方法，该波导光栅包括用于传输光信号的光波导，还包括沿光波导的传输方向延伸且与光波导并排设置的金属条，沿着光传输方向，光波导输入端到金属条开始端的距离大于一个工作波长，金属条结尾端到光波导输出端的距离大于一个工作波长，所述金属条与光波导的芯层之间设有间隙，该间隙的宽度沿着光波导的传输方向周期性变化，所述金属条与光波导芯层之间间隙的宽度大于0纳米，并且小于200纳米。本发明的波导光栅更稳定、更可靠，而且工艺条件更容易实现，并且能够应用于各种介质的光波导，工艺普适性高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117538983A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311758737.5
(22)申请日2023.12.20
(71)申请人湖北大学
地址430062
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