原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开涉及一种检测装置及检测方法，检测装置包括：输送线体，用于输送待测基片；检测机构，包括光谱仪、阳极组件以及阴极组件，阳极组件包括气体流路和具有反应腔的阳极金属端子，气体流路与反应腔连通，以用于向反应腔内填充工艺气体或者将反应腔抽真空，阳极金属端子的第一端设置有封闭反应腔的透光部，与第一端相对的第二端具有与反应腔连通的开口，阳极组件连接于光谱仪且透光部位于光谱仪的检测口和反应腔之间，阴极组件包括电连接的阴极金属端子和电源；以及驱动机构，用于驱动阳极金属端子及阴极金属端子分别朝向或远离位于检测区
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117538306A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202210918658.5
(22)申请日2022.08.01
(71)申请人国家能源投资集团有限责任公司
地址
文档评论（0）