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本实用新型提供了一种晶圆表面温度检测系统及清洗机，包括卡盘、与所述卡盘相对设置的治具本体、温感变色涂层、传感器和上位机，其中，所述温感变色涂层设于所述治具本体朝向所述卡盘的一侧，所述传感器朝向所述温感变色涂层设于所述卡盘上，用于采集所述温感变色涂层的颜色变化信号；所述上位机用于接收所述传感器的所述颜色变化信号并输出温度信号，以对所述晶圆的表面温度进行检测；本实用新型通过在治具本体上设置温感变色涂层，温感变色涂层具有随温度上升或下降而反复改变颜色的功能，利用传感器非接触实现颜色监控，输出信号校准成
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220474575U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202322142334.XG01K1/00(2006.01)
(22)申请日2023.08.0
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