一种粒状多晶硅的生产方法.pdfVIP

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本发明公开了一种粒状多晶硅的生产方法,通过调节流化床反应沉积温度,实现形成在流化床内壁形成温度圈层的目的,在石墨内件内壁沉积硅达到一定厚度,导致温度差时,应力被温度圈层降低或削弱,避免应力在释放时直接破坏流化床内壁的石墨内件,通过温度圈层的形成将流化床内壁表面沉积硅的应力分散,有利于延长流化床连续运行时间,避免因石墨件破裂降低产品质量或/和停产维护检修,实现流化床的长期稳定运行,延长流化床运行周期的目的。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117535794A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202311621267.8

(22)申请日2023.11.30

(71)申请人江苏中能硅业科技发展有限公司

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