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本发明公开耦合微波等离子体诊断功能结构的内绝缘失效状态的器件，包括导体封闭腔；第一微波波导设于其中一个第一通孔或第二通孔内；第二微波波导设于另一个第一通孔或第二通孔内；第一绝缘介质设置于导体封闭腔内；微波透过异放通道由透波绝缘介质材料构成，其电磁波透过率在2~26.5GHz均大于60%，其穿设于第一绝缘介质内且两者之间形成的第一界面不设置气隙；第一端部电极和第二端部电极相对且间隔设于微波透过异放通道内且与微波透过异放通道的内壁之间形成的第二界面不设有气隙，第一端部电极和第二端部电极之间存在气隙以
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117538705A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311640427.3
(22)申请日2023.12.01
(71)申请人上海摩仑工业技术有限公司
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