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本发明提供一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统，其主要由微波发生与传输系统、微波功率测量系统、表面波发生器、不规则表面波导管和供气系统组成。微波发生与传输系统由微波功率源、环形器、双向定向耦合器、三销钉调配器依次相连。不规则表面波导管包括锥直形管、分叉形管以及两种形状的组合。本发明可以产生气体温度可控的大气压脉冲调制表面波等离子体，采用锥直形管配置射流形貌，采用分叉形管得到多束等离子体射流。这不仅满足不同加工精度的需求，而且能够大大降低微波能耗，提高能量利用效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117545163A
(43)申请公布日2024.02.09
(21)申请号202311078735.1
(22)申请日2023.08.25
(71)申请人盐城工学院
地址224051
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