光学检测图像预测模型的训练方法、装置及预测方法.pdfVIP

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2024-02-10 发布于四川
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本申请公开了一种光学检测图像预测模型的训练方法、装置及预测方法，包括：获取样本掩膜第一区域的第一光学检测图像以及第一区域的第一仿真图像，并将第一光学检测图像和第一仿真图像输入预先建立的自编码神经网络模型；根据第一光学检测图像提取第一高维特征图像，以及根据第一仿真图像提取第二高维特征图像；采用n个滤波器对第二高维特征图像分别进行滤波，得到与n个滤波器一一对应的特征图像基序列，n≥2；采用特征图像基序列的线性组合拟合第一高维特征图像，得到掩膜光学检测图像预测模型。本申请的训练方法具有自适应性，可以更

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117541908A

(43)申请公布日2024.02.09

(21)申请号202410034540.5G06N3/0455(2023.01)

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