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本发明涉及一种基于光学显微成像的检测方法，包括：提供待检测的样品，其具有待检测的界面；获取待检测的样品的第一倍率的第一图像，基于第一图像得出界面上的第一异常部位并存储其信息；获取待检测样品的一部分的高于第一倍率的第二倍率的第二图像，基于第二图像得出第二异常部位并存储其信息；基于第一、第二异常部位的信息，对第一异常部位进行确认检查；确认检查的步骤还包括：确定第二图像的中心偏移，在对中心偏移作出补偿的情况下对第一异常部位进行确认检查。本发明还涉及检测系统、计算机可读介质及所述检测方法在技术清洁度分析
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117554375A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311519728.0
(22)申请日2023.11.15
(71)申请人蔡司科技（苏州）
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