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本发明公开了一种可变相位光学组件、光罩的相位差测量装置，属于半导体光罩技术领域，包括：第一光学零件，用于使第一光束垂直入射至第一光学零件的第一平面，并从第一光学零件的第二平面折射出射；相位零件，用于使从第二平面折射出射的第一光束折射入射至相位零件的第三平面，并从相位零件的第四平面折射出射；第二光学零件，用于使从第四平面折射出射的第一光束折射入射至第三光学零件的第五平面，并从第三光学零件的第六平面垂直出射；所述相位零件能够沿X轴向移动；所述第一光束在第六平面的出射位置始终不变。本发明解决了可变相位
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117555127A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311741696.9
(22)申请日2023.12.18
(71)申请人兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司
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