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本申请涉及芯片生产技术领域，尤其涉及一种芯片老化测试装置；针对测试效率不高的问题，所采用的方案包括：底座、测试室；测试室包括主室体、活动底板；主室体与底座固定；主室体的内部空间由多组子空间组成；活动底板固设有多组电路板；待测芯片安装在电路板上；每组子空间均安装有调温组件、测温组件；活动底板与底座滑动连接，且沿纵向方向滑动；活动底板包括测试位，位于测试位时，活动底板遮盖主室体的敞口；芯片老化测试装置还包括安装在底座和/或活动底板上的复位组件；复位组件用于带动活动底板沿纵向方向回到测试位。通过前述方
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220490985U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202322075002.4
(22)申请日2023.08.03
(73)专利权人深圳超盈智能科技有限公司
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