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2024-02-14 发布于四川
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一种陶瓷靶材内部缺陷检测方法、装置、设备及介质.pdf

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本发明公开一种陶瓷靶材内部缺陷检测方法、装置、设备及介质，所述方法包括：在实际水距值与所述水距标准值相等的情况下，利用探头分别在Y轴、A轴、B轴方向上对所述陶瓷靶材进行局部扫描定位，确认Y轴、A轴、B轴方向上所述陶瓷靶材的最高点；使所述探头处于Y轴、A轴、B轴方向上所述陶瓷靶材的最高点，移动X轴对所述陶瓷靶材进行扫描，得到C扫图；通过多个闸门电路在峰值面板上获取所述C扫图中各点处的缺陷波峰值；将所述C扫图中缺陷波峰值大于预设标准值的点记录为缺陷点。采用本发明，通过实时调整实际水距以实时改变扫描方

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117554490A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202311331663.7

(22)申请日2023.10.13

(71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司

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