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2024-02-14 发布于四川
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一种半导体传片机设备全自动化实现方法.pdf

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本发明涉及一种半导体传片机设备全自动化实现方法，包括在MES系统中配置自动作业模式；放上对应的载具；设备自动化平台进行卡控，判断容错及防呆，卡控通过进入后续流程，反之结束作业流程；设备自动化平台将作业指令发送给传片机设备，传片机设备根据作业指令进行作业；传片机设备作业结束，设备自动化平台向MES系统发送结束作业的信号并上报相关信息，MES系统对接收到的上报信息进行收集处理。本发明的一种半导体传片机设备全自动化实现方法，通过系统对作业流程中会导致作业错误的情况进行卡控和防呆，提升机台作业效率，实现

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117555299A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202311511791.X

(22)申请日2023.11.14

(71)申请人上海哥瑞利软件股份有限公司

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