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本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种晶圆清洗卡具，包括手柄、移动卡座和支座，支座上还间隔布置有至少两个固定卡头；移动卡座包括基体和弹性夹臂，弹性夹臂的与手柄接触的内壁、以及手柄的宽度方向的外侧壁上设置有相互配合的凹凸结构，凹凸结构用于对移动卡座进行止退；基体上还设置有朝向支座布置的活动卡头，固定卡头与活动卡头之间形成用于夹持晶圆的夹持空间。晶圆放置在支座上后操作人员推动移动卡座向支座移动，移动卡座的弹性夹臂克服凹凸结构的阻力移动，在清洗时，凹凸结构对移动卡座施加朝向支座方向的挡止力，有效
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220491868U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202321864346.7
(22)申请日2023.07.17
(73)专利权人广东先导微电子科技有限公司
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