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一种复合结构微机械谐振器及其加工方法.pdfVIP

一种复合结构微机械谐振器及其加工方法.pdf

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    本发明涉及微电子技术的技术领域，具体涉及一种复合结构微机械谐振器及其加工方法，复合结构微机械谐振器包括：固定部件、谐振振子、支撑梁；所述固定部件具有空腔结构；所述谐振振子通过所述支撑梁悬于所述空腔之上；所述谐振振子由n型掺杂硅、p型掺杂硅和隔离层构成叠层复合结构或嵌套型复合结构。本发明基于n型、p型掺杂硅的弹性模量具有不同的温度特性的特征，利用n型、p型掺杂硅和隔离层构成嵌套型或叠层复合结构谐振振子，通过调整构成谐振振子的n型和p型掺杂硅的体积占比，来调节微机械谐振器件的频率‑温度特性。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117559950A

    (43)申请公布日2024.02.13

    (21)申请号202311593769.4H03H3/04(2006.01)

    (22)申请日2023.11.2

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