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2024-02-14 发布于四川
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一种晶圆存放装置.pdf

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本实用新型属于晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆存放装置。其中包括卡匣和底座，卡匣放置在底座上，卡匣内放置有对应尺寸的晶圆，卡匣呈U型并扣在底座上，卡匣两侧的支撑壁垂直抵接在底座上；底座上形成有凸起部，凸起部位于卡匣内侧，支撑壁的内侧面抵接在凸起部两侧，垂直于底座投影，凸起部两侧呈阶梯状，凸起部两侧形成有抵接边，抵接边抵接在内侧面，抵接边至少形成有两组，抵接边与对应尺寸的卡匣一一对应。解决现有技术下更换不同晶圆时，需要拆装不同尺寸底座，降低实验效率的问题。

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220491856U

(45)授权公告日2024.02.13

(21)申请号202322128544.3

(22)申请日2023.08.09

(73)专利权人无锡卓海科技股份有限公司

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