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一种带源场板的射频芯片、射频组件.pdfVIP

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  • 2024-02-14 发布于四川
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一种带源场板的射频芯片、射频组件.pdf

    本发明实施例提供一种带源场板的射频芯片、射频组件，该芯片包括有源区和环绕有源区的无源区。有源区依次设置有长条形源电极、栅电极和漏电极。栅电极的下方设置有第一介质层。栅电极远离源电极的一侧的上方还设置有长条形源场板，其中，栅电极与源场板之间设置有第二介质层。有源区之外的无源区设置有互联金属线。互联金属线一端连接源场板，另一端连接源电极。本发明实施例通过将源场板与源电极的互联方式设置为在无源区进行互联，一方面避免厚度受限的源场板在有源区跨过栅电极互联时容易断裂问题。另一方面设置在无源区的互联金属线的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117558709A

    (43)申请公布日2024.02.13

    (21)申请号202311435265.XH01L29/78(2006.01)

    (22)申请日2023.10.

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