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本发明涉及一种多通道微区角分辨监测系统及监测方法，该监测系统包括：可相对移动地入射臂和接收臂，入射臂设有至少两个入射通道，接收臂设有至少两个接收通道；选择性且位置可调的设置在入射通道和接收通道的椭偏光路组件和全息干涉光路组件，以及配合设置的光源、光电探测器和大数值孔径透镜；通过椭偏光路组件可对样品进行椭偏测量，通过全息干涉光路组件可对样品进行离轴数字全息测量，且通过入射臂和接收臂的相对移动并配合大数值孔径透镜能够实现对入射光束的入射角度调整，从而可以获取到多维度的更为全面的光学信号，更为精准监测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117554289A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311525068.7
(22)申请日2023.11.15
(71)申请人复旦大学
地址200433
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