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本发明涉及一种三氟化硼的纯化方法,包括以下步骤:(1)将三氟化硼原料气送入络合系统,与络合剂反应生成络合物;(2)将络合物送入裂解系统,裂解反应生成含三氟化硼的气体;(3)将裂解得到的含三氟化硼的气体送入分离系统,脱除轻组分与重组分,得到高纯三氟化硼产品。纯度80%以上的三氟化硼原料气均可以采用本方法进行纯化,适用范围更广;采用络合‑裂解‑分离工艺纯化三氟化硼气体,其纯度可达99.9995%及以上,最高达到99.9999%。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117550619A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311773015.7
(22)申请日2023.12.21
(71)申请人上海化工研究院有限公司
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