一种太阳能电池钝化薄膜及其制备方法.pdfVIP

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2024-02-14 发布于四川
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一种太阳能电池钝化薄膜及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种太阳能电池钝化薄膜及其制备方法。所述制备方法包括以下步骤：将制绒后的晶体硅衬底片进行标准RCA清洗；将清洗后的衬底片用原子层沉积法沉积纯氧化铝薄膜；沉积固定循环数的纯氧化铝薄膜插入一步含氢气体的等离子体处理；固定数的纯氧化铝循环后插入一步氢化步骤统称为一个大循环，并以此大循环重复进行，实现氢化氧化铝的钝化薄膜沉积；沉积氢化氧化铝薄膜的衬底片进行退火处理，得到所述太阳能电池钝化薄膜。本发明中原位含氢气体等离子体处理实现了氢的有效掺杂，原位氢掺杂氧化铝薄膜提升薄膜场效应钝化效果，相比

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117558830A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202311573855.9

(22)申请日2023.11.23

(71)申请人中山大学

地址510000

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