原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型提供了一种中高频加热式硅氧负极流化CVD装置，所述CVD装置包括：进料单元、反应单元、分离器、收集单元、电控单元和气源单元，其中，进料单元与反应单元的入口通过管道连接，进料单元包括进料仓和分级构件。其中，分级构件设置在位于所述进料仓内并与管道连通，分级构件用于控制物料的粒径区间；所述分离器与收集单元和尾气处理器相连接，用于分离包覆后的物料和尾气；电控单元被配置为控制流化系统的参数；气源单元通过输气管与进料单元和反应单元连接，提供惰性气源和碳源气。本实用新型提供的CVD装置能够提高温度的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220485832U
(45)授权公告日2024.02.13
(21)申请号202321465536.1C23C16/26(2006.01)
(22)申请日2023.06.
文档评论（0）