原创力文档- 57
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- 2024-02-14 发布于四川
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一种静电吸盘及其制造方法，静电吸盘包含导电主体、数个绝缘套管、以及绝缘层。导电主体具有至少一通道以及数个第一开孔设于导电主体中。每个第一开孔具有第一开口位于导电主体的一表面中、以及第二开口与上述至少一通道连接。绝缘套管对应设于第一开孔中，其中每个绝缘套管具有第二开孔，且每个绝缘套管自对应的第一开孔的第一开口朝对应的第一开孔的第二开口延伸。绝缘层覆盖导电主体的表面与绝缘套管。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111508883A
(43)申请公布日
2020.08.07
(21)申请号20191
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