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本发明涉及一种用于导模法生长氧化镓晶体的方法及“V”型模具,模具放置在坩埚中,坩埚中装入氧化镓原料,盖上坩埚盖后将坩埚放在加热器中,将(2(—)01)面籽晶放置在籽晶杆中,籽晶杆提拉方向为[010];抽真空,充二氧化碳保护气至常压;进行炉体升温,化料,保温;引晶,将籽晶降至模具上端面,回熔,保温;放肩,氧化镓晶体放肩过程中,该模具减小了模具上端面中心和边缘的温度差异,直至晶体覆盖住整个模具上表面;等径;升温,将氧化镓晶体拉脱,然后降温,即得到(2(—)01)面氧化镓晶体。本模具结构更加合理,可以
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117552090A
(43)申请公布日2024.02.13
(21)申请号202311314630.1C30B15/14(2006.01)
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