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一种空腔反射层凸起型复合衬底和外延片及其制备方法.pdfVIP

一种空腔反射层凸起型复合衬底和外延片及其制备方法.pdf

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    本发明实施例公开了一种空腔反射层凸起型复合衬底和外延片及其制备方法，该空腔反射层凸起型复合衬底制备方法包括：采用金属材料，在基板的一侧表面制备多个第一异质微结构；在基板的一侧表面制备多个第二异质微结构；在各第二异质微结构的外部制备第三异质壳体；在第三异质壳体的顶部开口；通过第三异质壳体的顶部开口，去除第三异质壳体内的第二异质微结构；将第三异质壳体的顶部密封，以使第三异质壳体的内部形成密封的空腔。本发明实施例利用第一异质微结构以及第三异质壳体，构成空腔反射层结构，减少了外延缺陷，提高了外延层晶体质

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117558840A

    (43)申请公布日2024.02.13

    (21)申请号202311591552.X

    (22)申请日2023.11.24

    (71)申请人广东中图半导体科技股份有限公司

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