MEMS结构，MEMS压电麦克风.pdfVIP

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2024-02-14 发布于四川
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MEMS结构，MEMS压电麦克风.pdf

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本实用新型提供了一种MEMS结构，MEMS压电麦克风。该MEMS结构包括：衬底，包括：外围的衬底外环体；形成于衬底外环体内侧的衬底背腔；振动支撑层，形成于衬底外环体和衬底背腔的上方；压电复合层，包括：下电极层、压电层、上电极层，三者依次形成于振动支撑层上方，且压电层的水平面投影位于衬底背腔的水平面投影的中间区域；其中，下电极层直接形成于振动支撑层上方，并朝向振动支撑层外侧的第一方向延伸；上电极层的纵剖面呈“Z”字型或左右镜像的“Z”字型，其上部形成于压电层上方，其下部直接形成于振动支撑层上方。本

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220493146U

(45)授权公告日2024.02.13

(21)申请号202322134081.1

(22)申请日2023.08.08

(73)专利权人安徽奥飞声学科技有限公司

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