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2023年碳化硅项目规划设计蓝图.docx

2023年碳化硅项目规划设计蓝图.docx

    碳化硅项目规划设计蓝图

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    碳化硅项目规划设计蓝图

    目录

    TOC\h\z3421概论 3

    14626一、工艺说明 3

    16227(一)、技术管理特点 3

    31839(二)、碳化硅项目工艺技术设计方案 4

    20704(三)、设备选型方案 5

    243二、碳化硅项目文档管理 7

    14374(一)、文档编制与审查 7

    2998(二)、文档发布与分发 8

    30525(三)、文档存档与归档 9

    19702三、碳化硅项目绩效评估 10

    25103(一)、绩效评估指标 10

    612(二)、绩效评估方法 11

    23355

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