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本发明公开了一种激光切割或剥离后的碳化硅或氮化镓表面处理的方法，通过喷嘴将干冰颗粒或冰粒以高速的射速喷射到碳化硅或氮化镓激光切割或剥离表面。本发明通过干冰或者冰粒或者干冰‑二氧化硅小球混合物以高速的射速冷喷到碳化硅或氮化镓激光切割或剥离表面，可以快速、无污染、无损伤的去除表面颗粒和凸起物等。可以原位去除大部分激光剥离界面的颗粒、降低粗糙度实现界面平坦化，该方法具有快速、无污染、无新增表面损伤等优点，降低了后续研磨抛光的难度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117577521A
(43)申请公布日2024.02.20
(21)申请号202311467203.7
(22)申请日2023.11.07
(71)申请人南京大学
地址210023
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