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2024-02-21 发布于四川
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一种芯片检测装置.pdf

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本实用新型公开了一种芯片检测装置，包括第一摄像组件、第二摄像组件、芯片平台以及图像分析系统，第一摄像组件和第二摄像组件相对设置，第一摄像组件和第二摄像组件用于拍摄待检测芯片的白纹缺陷/点状缺陷，芯片平台设置在第一摄像组件和第二摄像组件之间，芯片平台用于固定待检测芯片，图像分析系统分别与第一摄像组件和第二摄像组件连接，图像分析系统用于对第一摄像组件和第二摄像组件拍摄到的芯片图像进行表面缺陷检测。采用本实用新型实施例，能够在不改变光源的情况下对待检测芯片进行表面缺陷检测，并提高待检测芯片的表面缺陷检

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220508800U

(45)授权公告日2024.02.20

(21)申请号202321423809.6

(22)申请日2023.06.05

(73)专利权人武汉锐科光纤激光技术股份有限

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