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一种石英音叉结构及其制作方法.pdfVIP

一种石英音叉结构及其制作方法.pdf

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    本发明公开了一种石英音叉结构及其制作方法，包括一对石英叉指、一对锤头和石英基座；所述一对石英叉指设置在石英基座上，所述一对锤头设置在石英叉指端部；所述石英叉指上表面与下表面均设置一组变截面凹槽；且凹槽的中心轴与叉指的中心轴重合。本发明通过在叉指上表面与下表面设置变截面凹槽，极大地提高叉指内部的激励电场强度和电极激励效率，从而有效地降低谐振器阻抗值，提高品质因数。同时，可以有效增加了三维电极的有效面积，从而大大提高石英叉指上的电荷收集效率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117579013A

    (43)申请公布日2024.02.20

    (21)申请号202311509672.0H03H9/21(2006.01)

    (22)申请日2023.11.1

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